烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
1.适当的环境湿度。实验电炉和控制器的相对湿度不得超过85%,且不得有导电性的浮尘,爆炸性气体和腐蚀性刺激物,以免破坏金属绝缘和电子部件。加热元器件硅钼棒、碳化硅棒等应放置在干燥的地方,以防止吸收水分并发生化学变化。
2.确保升降烧结炉等热处理设备的使用环境及温度,以免出现其他事故。
3.一定要确保设备连接正确。在运行状态下,一定要检查实验电炉和控制器的连接器的连接是否完好。
4.炉体及炉腔内部的清理。每次做完实验后,一定要对炉腔进行清理工作,及时清除炉中的金属氧化物,熔渣和碎屑,并应小心处理工件,以防止加热元件的损坏。
5.对于不符合要求的工件严禁进入炉内。
6.避免对加热元件造成其他损坏。如:碱,碱金属,硫酸和硼化合物在高温下可能对其产生腐蚀作用;而水蒸气会对其有很强的氧化作用,氢气和含有大量氢气的气体会在高温下分解碳化硅棒,因此必须严格注意其应用。
烧结炉在结构上应满足以下要求:
(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。
(2)具有气密性,即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。
(3)炉内的各段温度可控,烧结气氛可调。
(4)具有快速冷却装置,可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。