关于真空烧结炉的温度调节点,很多人都比较重视运转实践的峰值温度。真空烧结炉一个恰当温度规模,太高的话算为过烧,过低的话算是欠烧。这两种状况都不是恰当的烧结效果。掌握好温度的操控是找到习惯烧结温度规模的关键点。
如何判别是欠烧仍是过烧?欠烧时,穿透氮化硅的银浆留有剩余,那么进入N型层的银浆也比较少,欧姆接触效果欠好,会造成串联的电阻较大。
过烧时,银的消耗量会较平时多一些,而且会构成有银硅构成的混合层,这个混合层会起到阻碍的效果,同样也会构成串联的电阻过大。所以单单经过电阻不能推断是欠烧仍是过烧状态。
当无法判别烧结的状态是能够调节8区的温度,找到大约的调节点,然后缓慢进行微调。微调的时候能够经过背场的状态来判别,假如背场微微兴起,那么就是出于过烧,所以应微调降低温度。