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更新时间:2025-11-24
浏览次数:221600℃真空气氛炉是兼顾高温性能与稳定性的精密设备,核心适配中材料无氧化处理需求,以硅钼棒为主要加热元件,搭配高效真空与气氛系统,以下是其核心配置、性能优势及典型应用的详细介绍:
核心配置
配置类别具体信息
炉体与炉膛双层水冷壳体结构,中间填充高纯氧化铝 / 氧化锆复合纤维保温材料,炉壳表面温度≤60℃,兼顾节能与操作安全。炉膛采用进口刚玉或碳化硅内衬,抗热震性强,加热区长度 300-500mm,恒温区温度均匀性≤±3℃,支持 1600℃连续运行,短时可冲击 1650℃。
加热与控温系统加热元件标配优质硅钼棒(耐受 1700℃高温),发热均匀且抗氧化性强。控温采用 B 型铂铑热电偶 + PID 智能控制系统,控温精度达 ±1℃,支持 50 段程序编程,可自定义升温、保温、降温曲线,适配复杂工艺需求。
真空与密封系统采用机械泵 + 分子泵组合,极限真空度可达 10⁻⁴Pa,漏率≤1×10⁻⁴Pa・m³/s;炉门与接口采用不锈钢水冷法兰 + 高温金属密封圈密封,高温下密封性能稳定,有效隔绝空气渗入。
气氛与安全系统预留多组气路接口,可通入氩气、氮气等惰性气体及氢气(需定制防爆配置),配备高精度质量流量控制器,气体调节精度 ±1% FS。内置超温断电、真空异常报警、气体泄漏检测、防爆泄压阀等多重防护,炉门开启自动切断加热电源。
性能优势
高温稳定性强:硅钼棒与复合炉膛组合可稳定承受 1600℃连续高温,热损耗低,恒温区均匀性好,保障材料处理一致性。
环境可控精准:真空与气氛模式灵活切换,高真空度可高效去除材料内部杂质气体,精准气氛调控避免敏感材料氧化,适配多场景工艺需求。
安全可靠易维护:水冷结构 + 多重安全防护装置,全面规避高温、高压、可燃气体等风险;核心部件模块化设计,后期维护与配件更换便捷。
典型应用
特种陶瓷与耐火材料:碳化硅、氮化硅、氧化锆等高性能陶瓷的真空致密化烧结,提升硬度与力学性能;特种耐火材料的高温性能测试与改性,增强耐高温稳定性。
金属与合金加工:钨、钼等难熔金属的真空烧结与热处理,改善组织结构;钛合金、高温合金的真空退火,消除晶格缺陷与内应力,适配航空航天零部件制造。
半导体与电子材料:碳化硅外延片、硅片的高温真空退火,消除晶格缺陷;电子陶瓷基片、陶瓷封装件的真空烧结,保障绝缘性与结构强度。
新材料研发:锂电池正极材料(如富锂锰基)的真空烧结改性,优化晶体结构;纳米粉体、超导材料的真空高温合成,减少氧化与团聚污染。
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