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1700℃真空高温管式炉技术特征

更新时间:2025-11-25      浏览次数:30

1700℃真空高温管式炉作为更高温级别的精密热加工设备,多以硅钼棒为加热元件、高纯刚玉管为炉管,且强化了温控与真空密封系统,仅能短时(通常≤0.5h)维持 1700℃高温,长期常用温度多在 1600 - 1650℃,适配难熔材料、功能材料的精密加工与前沿科研,以下是其核心信息详解:

核心结构与关键参数

核心部件配置及参数详情

加热与测温加热元件以 1800 级硅钼棒为主,适配超高温工作需求;搭配 B 型双铂铑热电偶测温,搭配 PID 智能温控仪,控温精度达 ±1℃,支持 30 - 50 段可编程控温,还具备超温、断偶报警功能。

炉体与炉膛多为双层壳体搭配风冷循环系统,炉体表面温度可控制在 60℃以下;炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维,部分表面涂有进口高温氧化铝涂层,既提升热效率又延长寿命,常见加热区长度 290 - 300mm。

炉管与真空标配 99.8% 高纯刚玉管,常规尺寸为 Φ60×1000mm,也可定制更大管径;搭配机械泵时真空度可达 5×10⁻³Pa,选配罗茨泵或分子泵后可提升至 1×10⁻⁴ - 10⁻⁵Pa,炉管两端配不锈钢真空法兰保障密封性。

升温规范不同温度区间有严格限制,如 1400℃以下≤10℃/min,1400 - 1600℃≤5℃/min,1600℃以上≤2℃/min,避免升温过快损坏元件与炉管。

核心应用领域

难熔金属与陶瓷加工:适配钨、钼、钽等难熔金属的热加工,通过高温真空环境改善其组织结构,提升力学性能;也可用于碳化硅纤维增强陶瓷基复合材料的烧结,以及高性能陶瓷电容、传感器的致密化处理,避免加工过程中材料氧化或污染。

半导体与电子功能材料:可用于单晶硅、砷化镓等单晶半导体材料的生长,还能对碳化硅晶圆做高温退火,消除晶格缺陷;同时适配钇铝石榴石基荧光粉合成、陶瓷基电子元件烧结等工艺,保障电子材料的电学性能与稳定性。

新能源与超导材料研发:用于锂电池正极材料的深度提纯,去除残留有机物与水分,优化晶体结构;也可在特殊气氛下制备氢燃料电池极板,还能完成钇钡铜氧等超导材料的高温固相反应合成,助力提升材料核心性能。

前沿科研与特种加工:是高校和科研院所研究材料高温相变的核心设备,比如观察二氧化硅晶型转变、测试高温合金蠕变性能等;还可搭建 CVD 系统制备碳纳米材料、石墨烯等;部分淬火机型可实现样品高温下快速淬火,用于研究材料相变与微结构性能。

使用与维护要点

使用寿命:整机常规寿命 3 - 6 年,比 1600℃机型更短。硅钼棒在 1650℃长期工作下寿命约 600 - 1000 小时;刚玉炉管正常使用约 1.5 - 2 年,若频繁热震或接触腐蚀性气体,寿命可能缩短至 1 年以内;密封圈等耗材寿命约 0.8 - 1.2 年。

维护重点:避免长时间在 1700℃极限温度运行,单次极限温度工作不超 30 分钟;每次高温使用后需程序降温,严禁直接停机;每 50 次高温循环后检测刚玉管状态,定期清理炉管内杂质,通入反应气体后需用惰性气体吹扫炉膛;每 3 - 6 个月检查硅钼棒氧化情况与法兰密封性。


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