箱式真空气氛炉的使用方法是什么？

 一、开机前检查

1. 清理炉膛，无残渣、粉尘；样品放入坩埚 / 料舟，**不能直接触碰加热元件，不要堵住进气口、抽真空口**，粉体样品建议加盖，防止飞溅污染炉膛。

2. 检查炉门 O 型密封圈无破损，压紧机构完好；水冷机型确认冷却水开启、水路无漏水。

3. 检查真空泵油位正常；气瓶、减压阀、流量计、各个阀门完好；氢气工艺确认**防回火、泄漏报警、通风**全部到位。

4. 确认超温保护参数设置完成，保护温度高于工艺最高温度 50‑100℃。

二、装料密封

1. 将样品放在炉膛恒温区中心位置，样品之间留间隙，利于气氛流通。

2. 关闭炉门，均匀旋紧手轮锁扣，受力均匀，保证密封，不要单边压紧。

三、抽真空与气体置换（最关键，决定样品会不会氧化）

1. 关闭进气阀，打开真空阀，启动真空泵抽真空，抽到工艺要求真空度。

2. 关闭真空阀，停止真空泵，通入保护气体（N₂/Ar）到微正压。

3. **重复抽真空‑充气循环 2‑3 次**，把炉膛内部氧气置换干净。

4. 置换完成，调节流量计，打开排气，炉膛维持**微正压**（压力表略高于大气压），**禁止负压高温加热，防止空气倒灌氧化样品。

 使用氢气：先用氮气置换炉内空气，再切换氢气；尾气引室外，严禁室内聚集氢气。

四、设置程序，升温保温

1. 在温控仪表设置：升温速率、目标温度、保温时间、降温段；常规升温速率建议 3‑8℃/min，高温段不要过快。

2. 核对全部参数，确认气路流量、压力稳定，启动加热程序。

3. 运行过程，人员不可长时间远离，观察温度、压力，**全程保持微正压通气，不能断气**；出现漏气、超温报警，立刻停止加热。