对开式管式炉 氮气气氛退火炉两种常用工作模式

氮气退火两种常用工作模式

1. **真空置换 + 微正压氮气流动（推荐，低氧退火）**

抽真空 → 充氮气，循环 2~3 次，把管内空气置换干净；之后持续小流量通氮气，炉管维持微正压（0.02~0.05MPa），**防止空气倒灌**，残氧可做到≤10ppm，适合金属、半导体、碳材料退火。

2. **常压氮气吹扫（简易方案，无真空泵）**

持续大流量氮气吹扫 10~15min 排空气，之后小流量维持；残氧偏高，适合对氧不敏感样品。

退火原理：氮气属于惰性保护气，不参与反应，消除氧气，在高温下消除样品内应力、修复晶体缺陷、细化晶粒。

 典型应用场景

- 金属薄片、粉末氮气退火，去应力、防氧化

- 石墨烯、碳材料、陶瓷粉体退火

- 半导体薄膜、硅片、锂电池正极材料退火

- 样品热解、烧结、晶化处理