高温真空气氛炉是在真空环境中进行加热的设备，一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。高温真空气氛炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。高温真空气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的高温真空气氛炉在才次使用时高温真空气氛炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率（在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值），掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次（进行烘炉）。
工件--工件车须经清洗干燥后方克进入炉内，防止水份、污物进入炉内。各传动件发现卡位，限位不准，控制失灵等现象时，应立即排除，不要强操作，以免损坏机件。不能超负荷使用高温真空气氛炉，高温真空气氛炉的zui高使用温度是指元件在真空中允许的本身表面温度，并不是指加热物质的温度或加热元件周围的温度。要注意真空电热元件本身的温度一股比它周围的介质温度或被加热温度高100℃。
测量高温真空气氛炉温均匀性时，应注意测温触点的定位捆绑方式，以及距加热元件的远近。高温真空气氛炉内经常（至少每天或每班使用前）用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛，要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发生短路，甚至烧坏钼加热棒。底板、钼加热棒、炉保温层等耐热钢构件每使用一段时间，应该进行清理，严禁敲击，可小心清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除，就会熔融处与保温层发生打火，使钼丝熔化。
