真空管式炉充工作气体方法

真空管式炉充工作气体方法

● 使用氢气作为工作气体时 

1. 接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。 

2. 确认各阀门处于关闭状态。 

3. 逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在-0.1MPa。 

4. 接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。 5. 关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。 6. 逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开"位置。 7. 逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。 

8. 逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。 9. 打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。 

10. 在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形

瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。

●使用惰性气体作为工作气体时：

1. 接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。 2. 打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。 

3. 当管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。 

4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。 5. 逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；密切注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa以下（如气压**0.08MPa，打开管式炉出气阀放气）。 

6. 管式炉气压表当气压稳定时，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。 

7. 重复4、5步两次。 

8. 关机械泵，打开管式炉进气阀。